Система NANOMETRO® Серии F
Высокоточное измерение контура поверхности полупроводниковых пластин, стеклянных пластин для дисплеев с плоским экраном.
Технические характеристики:
| Модель | NANOMETRO 110F | NANOMETRO 330F | NANOMETRO 750F | ||
|---|---|---|---|---|---|
| Диапазон измерения | X:100мм/Y:100мм | X:300мм/Y:300мм | X:700мм/Y:500мм | ||
| Общая погрешность | 0.4мкм | 0.6мкм | |||
| Точность повторения | 0.05мкм(σ) | 0.1мкм(σ) | |||
| Направляющая деталь | Воздушный ползунок | Керамическое воздухонаправляющее устройство | |||
| Система привода | XY : сервопривод | X : линейный двигатель Y : сервопривод | |||
| Макс. рабочая масса | 4кг | 50кг | 50кг | ||